식각 공정 썸네일형 리스트형 램리서치, 생산 중단 없는 반도체 공정...자가 유지보수로 생산성 극대화 램리서치(Lam Research)가 자사와 협력을 맺은 반도체 제조사가, 지난 1년 간 반도체 공정의 식각 공정 플랫폼에서 생산 중단 없이 장비를 가동했다고 밝혔다. 반도체 공정에서 가동 중단은 곧 생산성 하락을 의미한다. 하지만 이번에 자가 유지보수 장비를 활용한 무중단 식각 시스템 가동으로, 반도체 공정에서 새로운 산업 기준을 마련할 수 있을 것으로 전망된다. 반도체 공정 환경에서 세정을 위한 가동 중단 시간은 식각 시스템의 생산성을 제한하는 가장 주요한 요소이다. 식각 공정 모듈은 안정적인 성능을 유지하고 플라즈마 공정 과정에서 부식된 부품을 교체하기 위해 일반적으로 월 혹은 주 단위로 세정된다. 이를 개선하기 위해 램리서치는 고객사와 함께 유지보수를 위한 세정 작업을 실시할 필요 없이 365일 동.. 2019. 5. 1. 더보기 이전 1 다음
